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什么是直线型行波压电马达?
来源:
时间:2022-09-01
直线型行波压电马达
除了具有旋转型压电马达的一般特点外,还具有许多其他优点,能直接产生直线运动,所以其具有更高的定位和速度控制精度,其最高定位控制精度可达到纳米级;由于其结构设计灵活,所以可采用多种形状的结构设计方案,并能实现装置的小型化和轻量化。目前,世界各国都在竞相发展基于直线型压电马达的定位控制系统。
图7.5所示为本多电子公司开发的薄型直线型压电马达产品样机。该样机利用三角形压电陶瓷做驱动振子,采用单侧驱动的方式,无负荷最大速度为450mm/s,最大推力为3N。直线型行波压电马达的重要用途在于精密定位控制,在相机镜头和精密制造等领域,利用直线压电马达,可以在更大的位移范围,实现自动的高精度控制。例如,在半导体制造业,日本的KYOCERA公司开发了全陶瓷材料压电马达驱动的工作台,用直线压电马达控制工作台相互垂直的两个方向的运动,如图7.6所示。
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